| Sample Number | DPE/PE/RPE | Acid Clean | Photoresist | Heidleberg | Etch/clean | Test |
|---|---|---|---|---|---|---|
| N1 | DPE 1:33 | |||||
| N2 | Clean | |||||
| N3 | Clean | |||||
| N4 | Clean | |||||
| N5 | Clean | |||||
| N6 | Clean | |||||
| N7 | Clean | |||||
| N8 | Clean | |||||
| N9 | Clean | |||||
| N10 | Clean | |||||
| N11 | Clean | |||||
| N12 | Clean | |||||
| N13 | Clean | |||||
| N14 | Clean | |||||
| N15 | Clean | |||||
| N16 | Clean | |||||
| N17 | Clean | |||||
| N18 | Clean | |||||
| N19 | Clean | |||||
| N20 | Clean | |||||
| N21 | Clean |